德國ZEISS CMM 三次元量測儀
機型：SPECTRUM 10/16/6
機台精度：1.9+L/300 µm(L=mm)
機台重複性：1.1um
認證範圍：X=900mm，Y=1400mm，Z=560mm
量測優勢：
1. 使用 ZEISS VAST XXT 探頭每旋轉 2.5 為一量測角，共可量測 20736 個角度，用以應對各種形狀複雜 的工件，並達到要求精度。
2. 運用 ZEISS 的 PiWeb 軟體，能為量 測 結果 作出 擴展性的統計分析， 清楚過濾、分類、分組測量數據 以達到將複雜數據簡單 圖示化。

瑞士TRIMOS 高度規
機型：Trimos V9 700
機台精度：1.2+L/1000um(L=mm)
機台重複性：1um
機台解析度：0.1um
量測行程：Z=710(1028 延伸 )mm
量測優勢：
1. 符合實驗室等級可量測高度、深度、平面度、垂直度、平行度。
2. 兼具手動 自動的量測功能。
3. 二 次元 座標示量測法大幅突破傳統高度規的量測限制與功能。
4. 可依照環境 溫度達到溫度補償效果提高量測準確度 。